X (unit=0.3 mm) Y (unit=0.3 mm) TIS (ppm) 0.00000 -80.00000 6.12491 12.00000 -79.00000 4.94573 11.00000 -79.00000 5.03303 10.00000 -79.00000 5.53881 9.00000 -79.00000 7.82344 8.00000 -79.00000 4.44800 7.00000 -79.00000 4.50172 6.00000 -79.00000 6.45120 5.00000 -79.00000 4.87539 4.00000 -79.00000 5.11416 3.00000 -79.00000 6.15932 2.00000 -79.00000 5.40718 1.00000 -79.00000 15.31468 0.00000 -79.00000 6.16676 -1.00000 -79.00000 4.88907 -2.00000 -79.00000 4.80816 -3.00000 -79.00000 5.01359 -4.00000 -79.00000 5.13955 -5.00000 -79.00000 5.04728 -6.00000 -79.00000 5.04834 -7.00000 -79.00000 4.93433 -8.00000 -79.00000 5.11929 -9.00000 -79.00000 5.95750 -10.00000 -79.00000 5.12656 -11.00000 -79.00000 8.63142 -12.00000 -79.00000 6.24112 -17.00000 -78.00000 5.21653 -16.00000 -78.00000 4.91214 -15.00000 -78.00000 16.61584 -14.00000 -78.00000 5.33409 -13.00000 -78.00000 5.00322 -12.00000 -78.00000 47.37533 -11.00000 -78.00000 29.92399 -10.00000 -78.00000 5.60118 -9.00000 -78.00000 5.21514 -8.00000 -78.00000 5.20901 -7.00000 -78.00000 7.13463 -6.00000 -78.00000 6.69096 -5.00000 -78.00000 5.19762 -4.00000 -78.00000 6.46045 -3.00000 -78.00000 6.93026 -2.00000 -78.00000 10.66237 -1.00000 -78.00000 4.95985 0.00000 -78.00000 4.97968 1.00000 -78.00000 5.79793 2.00000 -78.00000 5.32604 3.00000 -78.00000 6.33372 4.00000 -78.00000 5.92464 5.00000 -78.00000 5.41464 6.00000 -78.00000 8.70535 7.00000 -78.00000 4.62532 8.00000 -78.00000 4.28603 9.00000 -78.00000 5.25531 10.00000 -78.00000 4.71954 11.00000 -78.00000 11.70799 12.00000 -78.00000 6.06398 13.00000 -78.00000 5.79590 14.00000 -78.00000 5.09343 15.00000 -78.00000 5.50183 16.00000 -78.00000 4.29203 17.00000 -78.00000 5.56459 21.00000 -77.00000 5.10815 20.00000 -77.00000 4.49606 19.00000 -77.00000 5.92336 18.00000 -77.00000 10.73536 17.00000 -77.00000 5.22976 16.00000 -77.00000 4.78332 15.00000 -77.00000 10.24267 14.00000 -77.00000 5.81395 13.00000 -77.00000 6.40268 12.00000 -77.00000 6.34394 11.00000 -77.00000 4.58323 10.00000 -77.00000 4.89929 9.00000 -77.00000 6.51122 8.00000 -77.00000 4.40442 7.00000 -77.00000 4.97299 6.00000 -77.00000 5.15904 5.00000 -77.00000 4.44723 4.00000 -77.00000 4.95319 3.00000 -77.00000 5.30320 2.00000 -77.00000 5.78045 1.00000 -77.00000 4.66051 0.00000 -77.00000 5.61620 -1.00000 -77.00000 4.92390 -2.00000 -77.00000 4.82028 -3.00000 -77.00000 5.44512 -4.00000 -77.00000 5.47088 -5.00000 -77.00000 4.72850 -6.00000 -77.00000 4.99821 -7.00000 -77.00000 5.23019 -8.00000 -77.00000 5.63327 -9.00000 -77.00000 6.72779 -10.00000 -77.00000 6.39099 -11.00000 -77.00000 4.63543 -12.00000 -77.00000 5.25205 -13.00000 -77.00000 5.58790 -14.00000 -77.00000 4.69713 -15.00000 -77.00000 5.61863 -16.00000 -77.00000 5.10091 -17.00000 -77.00000 5.17854 -18.00000 -77.00000 5.09674 -19.00000 -77.00000 7.34903 -20.00000 -77.00000 4.52166 -21.00000 -77.00000 4.49435 -24.00000 -76.00000 4.89668 -23.00000 -76.00000 4.81158 -22.00000 -76.00000 7.81015 -21.00000 -76.00000 5.73354 -20.00000 -76.00000 5.79354 -19.00000 -76.00000 9.49776 -18.00000 -76.00000 5.01049 -17.00000 -76.00000 6.18828 -16.00000 -76.00000 4.75150 -15.00000 -76.00000 5.36275 -14.00000 -76.00000 5.31823 -13.00000 -76.00000 5.00015 -12.00000 -76.00000 4.57793 -11.00000 -76.00000 16.98407 -10.00000 -76.00000 4.60093 -9.00000 -76.00000 7.30076 -8.00000 -76.00000 5.04158 -7.00000 -76.00000 6.40249 -6.00000 -76.00000 5.98459 -5.00000 -76.00000 5.43341 -4.00000 -76.00000 7.33678 -3.00000 -76.00000 5.11873 -2.00000 -76.00000 4.63829 -1.00000 -76.00000 5.75949 0.00000 -76.00000 4.61301 1.00000 -76.00000 5.89745 2.00000 -76.00000 7.04842 3.00000 -76.00000 4.62982 4.00000 -76.00000 5.21308 5.00000 -76.00000 6.56315 6.00000 -76.00000 5.14530 7.00000 -76.00000 5.02318 8.00000 -76.00000 5.03446 9.00000 -76.00000 5.58679 10.00000 -76.00000 4.42379 11.00000 -76.00000 4.48981 12.00000 -76.00000 4.46950 13.00000 -76.00000 6.64019 14.00000 -76.00000 5.01764 15.00000 -76.00000 5.32939 16.00000 -76.00000 7.21681 17.00000 -76.00000 5.21472 18.00000 -76.00000 6.42761 19.00000 -76.00000 5.72999 20.00000 -76.00000 4.86960 21.00000 -76.00000 5.06158 22.00000 -76.00000 5.39108 23.00000 -76.00000 4.84558 24.00000 -76.00000 5.17997 27.00000 -75.00000 5.38677 26.00000 -75.00000 4.53246 25.00000 -75.00000 5.00750 24.00000 -75.00000 5.65064 23.00000 -75.00000 5.57786 22.00000 -75.00000 18.39040 21.00000 -75.00000 6.57352 20.00000 -75.00000 8.08540 19.00000 -75.00000 6.66872 18.00000 -75.00000 4.98750 17.00000 -75.00000 5.85753 16.00000 -75.00000 5.54783 15.00000 -75.00000 5.56974 14.00000 -75.00000 4.17298 13.00000 -75.00000 7.94770 12.00000 -75.00000 5.22438 11.00000 -75.00000 4.93946 10.00000 -75.00000 4.75966 9.00000 -75.00000 7.02987 8.00000 -75.00000 5.17825 7.00000 -75.00000 4.35789 6.00000 -75.00000 4.88908 5.00000 -75.00000 4.47681 4.00000 -75.00000 4.72558 3.00000 -75.00000 4.86281 2.00000 -75.00000 6.22990 1.00000 -75.00000 4.30627 0.00000 -75.00000 5.72461 -1.00000 -75.00000 4.75769 -2.00000 -75.00000 4.38676 -3.00000 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